தலைப்பு: சிப் தயாரிப்பில் FOUP என்றால் என்ன?

பொருளடக்கம்

1.​FOUP இன் கண்ணோட்டம் மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகள்

2.​FOUP​ இன் கட்டமைப்பு மற்றும் வடிவமைப்பு அம்சங்கள்​

3. FOUP இன் வகைப்பாடு மற்றும் பயன்பாட்டு வழிகாட்டுதல்கள்

4. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் FOUP இன் செயல்பாடுகள் மற்றும் முக்கியத்துவம்​

5. தொழில்நுட்ப சவால்கள் மற்றும் எதிர்கால வளர்ச்சி போக்குகள்

6.XKH இன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் மற்றும் சேவை ஆதரவு​

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், முன் திறப்பு ஒருங்கிணைந்த பாட் (FOUP) என்பது வேஃபர்களைப் பாதுகாக்க, கொண்டு செல்ல மற்றும் சேமிக்கப் பயன்படும் ஒரு முக்கியமான கொள்கலனாகும். இதன் உட்புறத்தில் 300 மிமீ வேஃபர்களின் 25 துண்டுகளை வைக்க முடியும், மேலும் அதன் முக்கிய கூறுகளில் முன்-திறக்கும் கொள்கலன் மற்றும் திறப்பதற்கும் மூடுவதற்கும் ஒரு பிரத்யேக கதவு சட்டகம் ஆகியவை அடங்கும். FOUP என்பது 12 அங்குல வேஃபர் ஃபேப்களுக்குள் தானியங்கி போக்குவரத்து அமைப்பில் ஒரு முக்கிய கேரியராகும். இது பொதுவாக மூடிய நிலையில் கொண்டு செல்லப்படுகிறது மற்றும் உபகரண சுமை துறைமுகத்திற்கு தள்ளப்படும்போது மட்டுமே திறக்கும், இதனால் வேஃபர்களை உபகரணங்களின் ஏற்றுதல்/இறக்குதல் துறைமுகத்திற்கு மாற்ற அனுமதிக்கிறது.

FOUP இன் வடிவமைப்பு நுண்ணிய சுற்றுச்சூழல் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு மாற்றியமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது வேஃபர் செருகலுக்கான பின்புறத்தில் ஸ்லாட்டுகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் மூடி குறிப்பாக ஓப்பனரின் கவ்வியுடன் பொருந்துமாறு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. வேஃபர்-கையாளுதல் ரோபோக்கள் வகுப்பு 1 சுத்தமான காற்று சூழலில் இயங்குகின்றன, பரிமாற்றத்தின் போது வேஃபர்கள் மாசுபடாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன. மேலும், FOUP ஒரு தானியங்கி பொருள் கையாளுதல் அமைப்பு (AMHS) வழியாக செயல்முறை கருவிகளுக்கு இடையில் நகர்த்தப்படுகிறது. நவீன வேஃபர் ஃபேப்கள் பெரும்பாலும் போக்குவரத்துக்கு மேல்நிலை ரயில் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துகின்றன, அதே நேரத்தில் ஒரு சில பழைய ஃபேப்கள் தரை அடிப்படையிலான தானியங்கி வழிகாட்டப்பட்ட வாகனங்களை (AGVs) பயன்படுத்தலாம்.

FOUP தானியங்கி வேஃபர் பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், சேமிப்பக செயல்பாட்டையும் வழங்குகிறது. ஏராளமான உற்பத்தி படிகள் காரணமாக, வேஃபர்கள் முழு செயல்முறை ஓட்டத்தையும் முடிக்க பல மாதங்கள் ஆகலாம். அதிக மாதாந்திர உற்பத்தி அளவுகளுடன் இணைந்து, ஒரு ஃபேப்பிற்குள் பல்லாயிரக்கணக்கான வேஃபர்கள் எந்த நேரத்திலும் தொடர்ந்து போக்குவரத்தில் அல்லது தற்காலிக சேமிப்பில் இருக்கும். சேமிப்பின் போது, ​​மாசுபடுத்திகள் வேஃபர்களைத் தொடர்பு கொள்வதைத் தடுக்க FOUPகள் அவ்வப்போது நைட்ரஜனுடன் சுத்திகரிக்கப்படுகின்றன, இது சுத்தமான மற்றும் நம்பகமான உற்பத்தி செயல்முறையை உறுதி செய்கிறது.

1. FOUP இன் செயல்பாடுகள் மற்றும் முக்கியத்துவம்

FOUP இன் முக்கிய செயல்பாடு, வெளிப்புற அதிர்ச்சி மற்றும் மாசுபாட்டிலிருந்து வேஃபர்களைப் பாதுகாப்பதாகும், குறிப்பாக பரிமாற்றத்தின் போது விளைச்சலில் ஏற்படும் தாக்கங்களைத் தவிர்ப்பது. இது எரிவாயு சுத்திகரிப்பு மற்றும் உள்ளூர் வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு (LAC) போன்ற முறைகள் மூலம் ஈரப்பதத்தைத் திறம்படத் தடுக்கிறது, அடுத்த உற்பத்தி படிக்காகக் காத்திருக்கும்போது வேஃபர்கள் பாதுகாப்பான நிலையில் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. அதன் சீல் செய்யப்பட்ட மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அமைப்பு தேவையான கலவைகள் மற்றும் கூறுகளை மட்டுமே நுழைய அனுமதிக்கிறது, இது வேஃபர்களில் VOCகள், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஈரப்பதத்தின் பாதகமான விளைவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

25 வேஃபர்களுடன் முழுமையாக ஏற்றப்பட்ட ஒரு FOUP 9 கிலோகிராம் வரை எடையுள்ளதாக இருப்பதால், அதன் போக்குவரத்து ஒரு தானியங்கி பொருள் கையாளுதல் அமைப்பை (AMHS) நம்பியிருக்க வேண்டும். இதை எளிதாக்க, FOUP இணைப்புத் தகடுகள், ஊசிகள் மற்றும் துளைகளின் பல்வேறு சேர்க்கைகளுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் எளிதாக அடையாளம் காணவும் வகைப்படுத்தவும் RFID மின்னணு குறிச்சொற்களுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. இந்த தானியங்கி கையாளுதலுக்கு கிட்டத்தட்ட கைமுறை செயல்பாடு தேவையில்லை, இது பிழை விகிதங்களை வெகுவாகக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையின் பாதுகாப்பு மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

2. FOUP இன் அமைப்பு மற்றும் வகைப்பாடு

ஒரு FOUP இன் வழக்கமான பரிமாணங்கள் தோராயமாக 420 மிமீ அகலம், 335 மிமீ ஆழம் மற்றும் 335 மிமீ உயரம் கொண்டவை. அதன் முக்கிய கட்டமைப்பு கூறுகள் பின்வருமாறு: மேல்நிலை ஏற்றி போக்குவரத்துக்கு ஒரு மேல் OHT (காளான் தலை); உபகரண வேஃபர் அணுகலுக்கான முன் கதவு; பக்கவாட்டு கைப்பிடிகள், பெரும்பாலும் வெவ்வேறு மாசு அளவுகளுடன் செயல்முறை பகுதிகளை வேறுபடுத்த வண்ணக் குறியிடப்படுகின்றன; செய்தி அட்டைகளை வைப்பதற்கான ஒரு அட்டைப் பகுதி; மற்றும் FOUPக்கான தனித்துவமான அடையாளங்காட்டியாகச் செயல்படும் ஒரு கீழ் RFID டேக், கருவிகள் மற்றும் மேல்நிலை ஏற்றிகள் அதை அடையாளம் காண அனுமதிக்கிறது. கருவிகளுடன் பொருத்துவதற்கும் செயல்முறை பகுதிகளை வேறுபடுத்துவதற்கும் அடித்தளம் நான்கு அடையாள மற்றும் நிலைப்படுத்தல் துளைகளுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது.

பயன்பாட்டின் அடிப்படையில், FOUPகள் மூன்று வகைகளாக வகைப்படுத்தப்படுகின்றன: PRD (உற்பத்திக்கு), ENG (பொறியியல் வேஃபர்களுக்கு) மற்றும் MON (மானிட்டர் வேஃபர்களுக்கு). PRD FOUPகள் தயாரிப்பு உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படலாம், ENG வகைகள் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு அல்லது சோதனைகளுக்கு ஏற்றவை, மற்றும் MON வகைகள் CMP மற்றும் DIFF போன்ற படிகளுக்கான செயல்முறை கண்காணிப்புக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளன. PRD FOUPகள் ENG மற்றும் MON நோக்கங்களுக்காகவும் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் ENG வகைகள் MON நோக்கங்களுக்காகவும் பயன்படுத்தப்படலாம் என்பதை கவனத்தில் கொள்ள வேண்டும், ஆனால் தலைகீழ் செயல்பாடு தர அபாயங்களை ஏற்படுத்துகிறது.

மாசுபாட்டின் அளவைப் பொறுத்து வகைப்படுத்தப்படும் FOUPகளை FE FOUP (முன்-முனை செயல்முறை, உலோகம் இல்லாதது), BE FOUP (பின்-முனை செயல்முறை, உலோகத்தைக் கொண்டுள்ளது) மற்றும் NI FOUP, CU FOUP மற்றும் CO FOUP போன்ற குறிப்பிட்ட உலோக செயல்முறைகளுக்கு நிபுணத்துவம் பெற்றவை எனப் பிரிக்கலாம். வெவ்வேறு செயல்முறைகளுக்கான FOUPகள் பொதுவாக பக்கவாட்டு கைப்பிடிகள் அல்லது கதவு பேனல்களின் நிறத்தால் வேறுபடுகின்றன. முன்-முனை செயல்முறைகளிலிருந்து FOUPகளை பின்-முனை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தலாம், ஆனால் பின்-முனை FOUPகளை ஒருபோதும் முன்-முனை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தக்கூடாது, ஏனெனில் இது மாசுபாட்டின் அபாயங்களை ஏற்படுத்தும்.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய கேரியராக, FOUP, உயர் ஆட்டோமேஷன் மற்றும் கடுமையான மாசு கட்டுப்பாடு மூலம், உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது வேஃபர்களின் பாதுகாப்பு மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது, இது நவீன வேஃபர் ஃபேப்களில் இன்றியமையாத உள்கட்டமைப்பாக அமைகிறது.

முடிவுரை

XKH, வாடிக்கையாளர்களுக்கு மிகவும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட முன்-திறப்பு ஒருங்கிணைந்த பாட் (FOUP) தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, உங்கள் குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகள் மற்றும் உபகரண இடைமுக விவரக்குறிப்புகளை கண்டிப்பாக கடைபிடிக்கிறது. மேம்பட்ட பொருள் தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தி செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி, ஒவ்வொரு FOUP தயாரிப்பும் விதிவிலக்கான காற்று இறுக்கம், தூய்மை மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையை வழங்குவதை நாங்கள் உறுதிசெய்கிறோம். எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு ஆழ்ந்த தொழில் நிபுணத்துவத்தைக் கொண்டுள்ளது, தேர்வு ஆலோசனை மற்றும் கட்டமைப்பு உகப்பாக்கம் முதல் சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பராமரிப்பு வரை விரிவான வாழ்க்கைச் சுழற்சி ஆதரவை வழங்குகிறது - FOUP மற்றும் உங்கள் தானியங்கி பொருள் கையாளுதல் அமைப்பு (AMHS) மற்றும் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு இடையே தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் திறமையான ஒத்துழைப்பை உறுதி செய்கிறது. வேஃபர்களின் பாதுகாப்பு மற்றும் உற்பத்தி மகசூலை மேம்படுத்துவதை எங்கள் முக்கிய நோக்கங்களாக நாங்கள் தொடர்ந்து முன்னுரிமை அளிக்கிறோம். புதுமையான தயாரிப்புகள் மற்றும் அனைத்தையும் உள்ளடக்கிய தொழில்நுட்ப சேவைகள் மூலம், உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு நாங்கள் ஒரு வலுவான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறோம், இறுதியில் உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு மகசூலை அதிகரிக்கிறோம்.