SiC சபையர் Si GAAs வேஃபருக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்
விரிவான வரைபடம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் சக் பற்றிய கண்ணோட்டம்
திசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்குறைக்கடத்தி ஆய்வு, வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் பிணைப்பு பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் தளமாகும். மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்களால் கட்டப்பட்டது—உட்படவெப்பப்படுத்தப்பட்ட SiC (SSiC), வினை-பிணைக்கப்பட்ட SiC (RSiC), சிலிக்கான் நைட்ரைடு, மற்றும்அலுமினிய நைட்ரைடு— இது வழங்குகிறதுஅதிக விறைப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம், சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை.
துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் அதிநவீன மெருகூட்டலுடன், சக் வழங்குகிறதுதுணை மைக்ரான் தட்டையான தன்மை, கண்ணாடி-தரமான மேற்பரப்புகள் மற்றும் நீண்ட கால பரிமாண நிலைத்தன்மை, இது முக்கியமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தீர்வாக அமைகிறது.
முக்கிய நன்மைகள்
-
உயர் துல்லியம்
உள்ளே தட்டையானது கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது0.3–0.5 μm, வேஃபர் நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான செயல்முறை துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. -
கண்ணாடி பாலிஷிங்
சாதிக்கிறதுரா 0.02 μmமேற்பரப்பு கடினத்தன்மை, வேஃபர் கீறல்கள் மற்றும் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல் - மிகவும் சுத்தமான சூழல்களுக்கு ஏற்றது. -
மிகவும் இலகுரக
குவார்ட்ஸ் அல்லது உலோக அடி மூலக்கூறுகளை விட வலிமையானது ஆனால் இலகுவானது, இயக்கக் கட்டுப்பாடு, மறுமொழி மற்றும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது. -
அதிக விறைப்பு
எக்ஸெப்ஷனல் யங்கின் மாடுலஸ் அதிக சுமைகள் மற்றும் அதிவேக செயல்பாட்டின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. -
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்
CTE சிலிக்கான் வேஃபர்களுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துகிறது, வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைத்து செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது. -
சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பு
அதிக கடினத்தன்மை நீண்ட கால, அதிக அதிர்வெண் பயன்பாட்டிலும் கூட தட்டையான தன்மையையும் துல்லியத்தையும் பாதுகாக்கிறது.
உற்பத்தி செய்முறை
-
மூலப்பொருள் தயாரிப்பு
கட்டுப்படுத்தப்பட்ட துகள் அளவு மற்றும் மிகக் குறைந்த அசுத்தங்கள் கொண்ட உயர்-தூய்மை SiC பொடிகள். -
ஃபார்மிங் & சின்டரிங்
போன்ற நுட்பங்கள்அழுத்தமற்ற சின்டரிங் (SSiC) or எதிர்வினை பிணைப்பு (RSiC)அடர்த்தியான, சீரான பீங்கான் அடி மூலக்கூறுகளை உருவாக்குங்கள். -
துல்லிய எந்திரம்
CNC அரைத்தல், லேசர் டிரிம்மிங் மற்றும் அல்ட்ரா-துல்லிய இயந்திரம் ஆகியவை ±0.01 மிமீ சகிப்புத்தன்மையையும் ≤3 μm இணையான தன்மையையும் அடைகின்றன. -
மேற்பரப்பு சிகிச்சை
Ra 0.02 μm வரை பல-நிலை அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல்; அரிப்பு எதிர்ப்பு அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உராய்வு பண்புகளுக்கு விருப்ப பூச்சுகள் கிடைக்கின்றன. -
ஆய்வு & தரக் கட்டுப்பாடு
இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் மற்றும் கடினத்தன்மை சோதனையாளர்கள் குறைக்கடத்தி-தர விவரக்குறிப்புகளுடன் இணங்குவதை சரிபார்க்கின்றனர்.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்
| அளவுரு | மதிப்பு | அலகு |
|---|---|---|
| தட்டையானது | ≤0.5 | μமீ |
| வேஃபர் அளவுகள் | 6'', 8'', 12'' (தனிப்பயன் கிடைக்கிறது) | — |
| மேற்பரப்பு வகை | பின் வகை / மோதிர வகை | — |
| பின் உயரம் | 0.05–0.2 | mm |
| குறைந்தபட்ச பின் விட்டம் | ϕ0.2 (ϕ0.2) என்பது ϕ0.2 ஆகும். | mm |
| குறைந்தபட்ச பின் இடைவெளி | 3 | mm |
| குறைந்தபட்ச சீல் வளைய அகலம் | 0.7 | mm |
| மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை | ரா 0.02 | μமீ |
| தடிமன் சகிப்புத்தன்மை | ±0.01 | mm |
| விட்டம் சகிப்புத்தன்மை | ±0.01 | mm |
| இணைநிலை சகிப்புத்தன்மை | ≤3 | μமீ |
முக்கிய பயன்பாடுகள்
-
குறைக்கடத்தி வேஃபர் ஆய்வு உபகரணங்கள்
-
வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் பரிமாற்ற அமைப்புகள்
-
வேஃபர் பிணைப்பு & பேக்கேஜிங் கருவிகள்
-
மேம்பட்ட ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதன உற்பத்தி
-
மிகவும் தட்டையான, மிகவும் சுத்தமான மேற்பரப்புகள் தேவைப்படும் துல்லியமான கருவிகள்
கேள்வி பதில் – சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்
Q1: SiC பீங்கான் சக்குகள் குவார்ட்ஸ் அல்லது உலோக சக்குகளுடன் எவ்வாறு ஒப்பிடுகின்றன?
A1: SiC சக்குகள் இலகுவானவை, கடினமானவை, மேலும் சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கு அருகில் CTE ஐக் கொண்டுள்ளன, வெப்ப சிதைவைக் குறைக்கின்றன. அவை சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பையும் நீண்ட ஆயுளையும் வழங்குகின்றன.
கேள்வி 2: என்ன தட்டையான தன்மையை அடைய முடியும்?
A2: கட்டுப்படுத்தப்பட்டது0.3–0.5 μm, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
Q3: மேற்பரப்பு செதில்களைக் கீறுமா?
A3: இல்லை—கண்ணாடி-பாலிஷ் செய்யப்பட்டதுரா 0.02 μm, கீறல் இல்லாத கையாளுதலையும் குறைக்கப்பட்ட துகள் உற்பத்தியையும் உறுதி செய்கிறது.
Q4: என்ன வேஃபர் அளவுகள் ஆதரிக்கப்படுகின்றன?
A4: நிலையான அளவுகள்6'', 8'', மற்றும் 12'', தனிப்பயனாக்கம் கிடைக்கிறது.
கேள்வி 5: வெப்ப எதிர்ப்பு எப்படி இருக்கிறது?
A5: SiC மட்பாண்டங்கள் வெப்ப சுழற்சியின் கீழ் குறைந்தபட்ச சிதைவுடன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனை வழங்குகின்றன.
எங்களை பற்றி
சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.









