சிலிக்கான் / சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) வேஃபர் நான்கு-நிலை இணைக்கப்பட்ட பாலிஷிங் ஆட்டோமேஷன் லைன் (ஒருங்கிணைந்த பிந்தைய பாலிஷ் கையாளுதல் லைன்)

இந்த நான்கு-நிலை இணைக்கப்பட்ட பாலிஷிங் ஆட்டோமேஷன் லைன் என்பது ஒரு ஒருங்கிணைந்த, இன்-லைன் தீர்வாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுபாலிஷ் செய்த பிறகு / CMPக்குப் பிறகுசெயல்பாடுகள்சிலிக்கான்மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)செதில்கள். சுற்றி கட்டப்பட்டதுபீங்கான் கேரியர்கள் (பீங்கான் தகடுகள்), இந்த அமைப்பு பல கீழ்நிலை பணிகளை ஒரு ஒருங்கிணைந்த வரியில் ஒருங்கிணைக்கிறது - ஃபேப்கள் கைமுறை கையாளுதலைக் குறைக்கவும், எடுக்கும் நேரத்தை உறுதிப்படுத்தவும், மாசு கட்டுப்பாட்டை வலுப்படுத்தவும் உதவுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில்,CMP-க்குப் பிறகு பயனுள்ள சுத்தம் செய்தல்அடுத்த செயல்முறைக்கு முன் குறைபாடுகளைக் குறைப்பதற்கான ஒரு முக்கிய படியாக பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் மேம்பட்ட அணுகுமுறைகள் (உட்படமெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல்) துகள் அகற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்காக பொதுவாக விவாதிக்கப்படுகிறது.

குறிப்பாக SiC-க்கு, அதன்அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் மந்தநிலைமெருகூட்டலை சவாலானதாக ஆக்குகிறது (பெரும்பாலும் குறைந்த பொருள் அகற்றும் விகிதம் மற்றும் மேற்பரப்பு/நிலத்தடி சேதத்தின் அதிக ஆபத்துடன் தொடர்புடையது), இது நிலையான பிந்தைய மெருகூட்டல் ஆட்டோமேஷன் மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சுத்தம்/கையாளுதல் ஆகியவற்றை குறிப்பாக மதிப்புமிக்கதாக ஆக்குகிறது.