சபையர் வேஃபர் மற்றும் ஆப்டிகல் ஜன்னல் உற்பத்திக்கான சபையர் படிக வளர்ச்சி உலை KY கைரோபௌலோஸ் முறை

சபையர் வேஃபர் மற்றும் ஆப்டிகல் சாளர உற்பத்திக்கான சபையர் படிக வளர்ச்சி உலை KY கைரோபௌலோஸ் முறை சிறப்பு படம்

குறுகிய விளக்கம்:

இந்த சபையர் படிக வளர்ச்சி கருவி சர்வதேச அளவில் முன்னணி கைரோபௌலோஸ் (KY) முறையைப் பயன்படுத்துகிறது, இது குறிப்பாக பெரிய விட்டம் கொண்ட, குறைந்த குறைபாடுள்ள சபையர் ஒற்றை-படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. KY முறை விதை படிக இழுத்தல், சுழற்சி வேகம் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, அதிக வெப்பநிலையில் (2000–2200°C) 12 அங்குலங்கள் (300 மிமீ) விட்டம் கொண்ட சபையர் படிகங்களின் வளர்ச்சியை அனுமதிக்கிறது. XKH இன் KY-முறை அமைப்புகள் 2–12-இன்ச் C/A-பிளேன் சபையர் வேஃபர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் ஜன்னல்களின் தொழில்துறை உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது மாதாந்திர 20 அலகுகளின் வெளியீட்டை அடைகிறது. உபகரணங்கள் ஊக்கமருந்து செயல்முறைகளை ஆதரிக்கின்றன (எ.கா., ரூபி தொகுப்புக்கான Cr³⁰ ஊக்கமருந்து) மற்றும் படிக தரத்தை இதனுடன் வழங்குகிறது:

இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி <100/செ.மீ²

400–5500 nm இல் 85% க்கும் அதிகமான பரவல் திறன்

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

வேலை செய்யும் கொள்கை

KY முறையின் முக்கிய கொள்கை, 2050°C வெப்பநிலையில் டங்ஸ்டன்/மாலிப்டினம் சிலுவைப்பாதையில் உயர்-தூய்மை Al₂O₃ மூலப்பொருட்களை உருக்குவதை உள்ளடக்கியது. ஒரு விதை படிகம் உருகலில் இறக்கப்பட்டு, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட விலகல் (0.5–10 மிமீ/மணி) மற்றும் சுழற்சி (0.5–20 rpm) மூலம் α-Al₂O₃ ஒற்றை படிகங்களின் திசை வளர்ச்சியை அடைய முடியும். முக்கிய அம்சங்கள் பின்வருமாறு:

• பெரிய பரிமாண படிகங்கள் (அதிகபட்சம் Φ400 மிமீ × 500 மிமீ)
• குறைந்த அழுத்த ஒளியியல் தர சபையர் (அலைமுனை விலகல் <λ/8 @ 633 nm)
• கலப்பட படிகங்கள் (எ.கா., நட்சத்திர சபையருக்கு கலப்படம் செய்தல்)

மைய அமைப்பு கூறுகள்

1. உயர் வெப்பநிலை உருகும் அமைப்பு
• டங்ஸ்டன்-மாலிப்டினம் கூட்டு சிலுவை (அதிகபட்ச வெப்பநிலை 2300°C)
• பல மண்டல கிராஃபைட் ஹீட்டர் (±0.5°C வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு)

2. படிக வளர்ச்சி அமைப்பு
• சர்வோ-இயக்கப்படும் இழுக்கும் வழிமுறை (±0.01 மிமீ துல்லியம்)
• காந்த திரவ சுழல் முத்திரை (0–30 rpm படியற்ற வேக ஒழுங்குமுறை)

3. வெப்ப புலக் கட்டுப்பாடு
• 5-மண்டல சுயாதீன வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு (1800–2200°C)
• சரிசெய்யக்கூடிய வெப்பக் கவசம் (±2°C/செ.மீ சாய்வு)
• வெற்றிடம் & வளிமண்டல அமைப்பு
• 10⁻⁴ பா அதிக வெற்றிடம்
• Ar/N₂/H₂ கலப்பு வாயு கட்டுப்பாடு

4. நுண்ணறிவு கண்காணிப்பு
• CCD நிகழ்நேர படிக விட்டம் கண்காணிப்பு
• பல-நிறமாலை உருகு நிலை கண்டறிதல்

KY vs. CZ முறை ஒப்பீடு

அளவுரு	KY முறை	CZ முறை
அதிகபட்ச படிக அளவு	Φ400 மிமீ	Φ200 மிமீ
வளர்ச்சி விகிதம்	5–15 மிமீ/மணி	20–50 மிமீ/மணி
குறைபாடு அடர்த்தி	<100/செமீ²	500–1000/செமீ²
ஆற்றல் நுகர்வு	80–120 கிலோவாட்/கிலோ	50–80 கிலோவாட்/கிலோ
வழக்கமான பயன்பாடுகள்	ஆப்டிகல் ஜன்னல்கள்/பெரிய வேஃபர்கள்	LED அடி மூலக்கூறுகள்/நகைகள்

முக்கிய பயன்பாடுகள்

1. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் ஜன்னல்கள்
• இராணுவ IR குவிமாடங்கள் (டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ் >85%@3–5 μm)
• UV லேசர் ஜன்னல்கள் (200 W/cm² சக்தி அடர்த்தியைத் தாங்கும்)

2. குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகள்
• GaN எபிடாக்சியல் வேஃபர்கள் (2–8 அங்குலம், TTV <10 μm)
• SOI அடி மூலக்கூறுகள் (மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை <0.2 nm)

3. நுகர்வோர் மின்னணுவியல்
• ஸ்மார்ட்போன் கேமரா கவர் கண்ணாடி (மோஸ் கடினத்தன்மை 9)
• ஸ்மார்ட்வாட்ச் காட்சிகள் (10× கீறல் எதிர்ப்பு மேம்பாடு)

4. சிறப்புப் பொருட்கள்
• உயர்-தூய்மை IR ஒளியியல் (உறிஞ்சுதல் குணகம் <10⁻³ செ.மீ⁻¹)
• அணு உலை கண்காணிப்பு ஜன்னல்கள் (கதிர்வீச்சு சகிப்புத்தன்மை: 10¹⁶ n/cm²)

கைரோபௌலோஸ் (KY) சபையர் படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களின் நன்மைகள்

கைரோபௌலோஸ் (KY) முறை அடிப்படையிலான சபையர் படிக வளர்ச்சி உபகரணங்கள் இணையற்ற தொழில்நுட்ப நன்மைகளை வழங்குகின்றன, இது தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கான ஒரு அதிநவீன தீர்வாக நிலைநிறுத்துகிறது. முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு:

1. பெரிய விட்டம் கொண்ட திறன்: 12 அங்குலங்கள் (300 மிமீ) விட்டம் கொண்ட சபையர் படிகங்களை வளர்க்கும் திறன் கொண்டது, GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் இராணுவ தர ஜன்னல்கள் போன்ற மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கான செதில்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் கூறுகளின் அதிக மகசூல் உற்பத்தியை செயல்படுத்துகிறது.

2. மிகக் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி: உகந்த வெப்ப புல வடிவமைப்பு மற்றும் துல்லியமான வெப்பநிலை சாய்வு கட்டுப்பாடு மூலம் <100/செ.மீ² இடப்பெயர்வு அடர்த்தியை அடைகிறது, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களுக்கான உயர்ந்த படிக ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

3. உயர்தர ஒளியியல் செயல்திறன்: UV லேசர் ஜன்னல்கள் மற்றும் அகச்சிவப்பு ஒளியியலுக்கு முக்கியமான, அகச்சிவப்பு நிறமாலைக்கு (400–5500 nm) புலப்படும் முழுவதும் 85% பரிமாற்றத்தை வழங்குகிறது.

4. மேம்பட்ட ஆட்டோமேஷன்: சர்வோ-இயக்கப்படும் இழுக்கும் வழிமுறைகள் (±0.01 மிமீ துல்லியம்) மற்றும் காந்த திரவ சுழலும் முத்திரைகள் (0–30 rpm படியற்ற கட்டுப்பாடு) ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது மனித தலையீட்டைக் குறைத்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

5. நெகிழ்வான ஊக்கமருந்து விருப்பங்கள்: Cr³⁰ (ரூபிக்கு) மற்றும் Ti³⁰ (நட்சத்திர சபையருக்கு) போன்ற டோபன்ட்களுடன் தனிப்பயனாக்கத்தை ஆதரிக்கிறது, இது ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் நகைகளில் முக்கிய சந்தைகளுக்கு உதவுகிறது.

6. ஆற்றல் திறன்: உகந்த வெப்ப காப்பு (டங்ஸ்டன்-மாலிப்டினம் க்ரூசிபிள்) மாற்று வளர்ச்சி முறைகளுடன் போட்டியிடும் வகையில் ஆற்றல் நுகர்வை 80–120 kWh/kg ஆகக் குறைக்கிறது.

7. அளவிடக்கூடிய உற்பத்தி: 200க்கும் மேற்பட்ட உலகளாவிய நிறுவல்களால் சரிபார்க்கப்பட்ட, விரைவான சுழற்சி நேரங்களுடன் (30–40 கிலோ படிகங்களுக்கு 8–10 நாட்கள்) 5,000+ வேஃபர்களின் மாதாந்திர வெளியீட்டை அடைகிறது.

8. இராணுவ-தர நீடித்துழைப்பு: விண்வெளி மற்றும் அணுசக்தி பயன்பாடுகளுக்கு அவசியமான கதிர்வீச்சு-எதிர்ப்பு வடிவமைப்புகள் மற்றும் வெப்ப-எதிர்ப்பு பொருட்கள் (10¹⁶ n/cm² தாங்கும்) ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது.
இந்த கண்டுபிடிப்புகள், உயர் செயல்திறன் கொண்ட சபையர் படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான தங்க தரநிலையாக KY முறையை உறுதிப்படுத்துகின்றன, 5G தகவல் தொடர்பு, குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங் மற்றும் பாதுகாப்பு தொழில்நுட்பங்களில் முன்னேற்றங்களை இயக்குகின்றன.

XKH சேவைகள்

XKH, சபையர் படிக வளர்ச்சி அமைப்புகளுக்கான விரிவான ஆயத்த தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குகிறது, நிறுவல், செயல்முறை மேம்படுத்தல் மற்றும் ஊழியர்கள் பயிற்சி ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது, இது தடையற்ற செயல்பாட்டு ஒருங்கிணைப்பை உறுதி செய்கிறது. பல்வேறு தொழில்துறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப முன் சரிபார்க்கப்பட்ட வளர்ச்சி சமையல் குறிப்புகளை (50+) நாங்கள் வழங்குகிறோம், இது வாடிக்கையாளர்களுக்கான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கான நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. சிறப்பு பயன்பாடுகளுக்கு, தனிப்பயன் மேம்பாட்டு சேவைகள் குழி தனிப்பயனாக்கம் (Φ200–400 மிமீ) மற்றும் மேம்பட்ட ஊக்கமருந்து அமைப்புகள் (Cr/Ti/Ni) ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகின்றன, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட ஆப்டிகல் கூறுகள் மற்றும் கதிர்வீச்சு-எதிர்ப்பு பொருட்களை ஆதரிக்கிறது.

மதிப்பு கூட்டப்பட்ட சேவைகளில் வெட்டுதல், அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல் போன்ற வளர்ச்சிக்குப் பிந்தைய செயலாக்கம் அடங்கும், மேலும் வேஃபர்கள், குழாய்கள் மற்றும் ரத்தினக் கல் வெற்றிடங்கள் போன்ற முழு அளவிலான சபையர் தயாரிப்புகளால் பூர்த்தி செய்யப்படுகிறது. இந்த சலுகைகள் நுகர்வோர் மின்னணுவியல் முதல் விண்வெளி வரையிலான துறைகளுக்கு ஏற்றவை. எங்கள் தொழில்நுட்ப ஆதரவு 24 மாத உத்தரவாதத்தையும் நிகழ்நேர தொலைநிலை நோயறிதலையும் உத்தரவாதம் செய்கிறது, இது குறைந்தபட்ச வேலையில்லா நேரத்தையும் நிலையான உற்பத்தி செயல்திறனையும் உறுதி செய்கிறது.