SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு

குறுகிய விளக்கம்:

ஆபரேட்டர் சார்ந்த வேலையிலிருந்து SiC விதை பிணைப்பை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய, அளவுரு சார்ந்த செயல்முறையாக மாற்றவும்: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பிசின் அடுக்கு தடிமன், காற்றுப்பை அழுத்துவதன் மூலம் மைய சீரமைப்பு, வெற்றிட டிபப்ளிங் மற்றும் வெப்பநிலை/அழுத்தத்தை சரிசெய்யக்கூடிய கார்பனேற்ற ஒருங்கிணைப்பு. 6/8/12-அங்குல உற்பத்தி சூழ்நிலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது.


அம்சங்கள்

விரிவான வரைபடம்

SiC 晶体生长炉 SiC படிக வளர்ச்சி உலை SiC விதை பூச்சு-பிணைப்பு-சிண்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு
SiC விதை பூச்சு - பிணைப்பு - சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு

துல்லிய தெளிப்பு பூச்சு • மைய சீரமைப்பு பிணைப்பு • வெற்றிட டிபப்ளிங் • கார்பனைசேஷன்/சின்டரிங் ஒருங்கிணைப்பு

ஆபரேட்டர் சார்ந்த வேலையிலிருந்து SiC விதை பிணைப்பை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய, அளவுரு சார்ந்த செயல்முறையாக மாற்றவும்: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பிசின் அடுக்கு தடிமன், காற்றுப்பை அழுத்துவதன் மூலம் மைய சீரமைப்பு, வெற்றிட டிபப்ளிங் மற்றும் வெப்பநிலை/அழுத்தத்தை சரிசெய்யக்கூடிய கார்பனேற்ற ஒருங்கிணைப்பு. 6/8/12-அங்குல உற்பத்தி சூழ்நிலைகளுக்காக உருவாக்கப்பட்டது.

தயாரிப்பு கண்ணோட்டம்

அது என்ன

இந்த ஒருங்கிணைந்த தீர்வு SiC படிக வளர்ச்சியின் மேல்நோக்கிய படிநிலைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அங்கு விதை/செதில் கிராஃபைட் காகிதம்/கிராஃபைட் தகடு (மற்றும் தொடர்புடைய இடைமுகங்கள்) உடன் பிணைக்கப்பட்டுள்ளது. இது செயல்முறை வளையத்தை மூடுகிறது:

பூச்சு (தெளிப்பு ஒட்டும் தன்மை) → பிணைப்பு (சீரமைப்பு + அழுத்துதல் + வெற்றிட நீக்கம்) → சின்டரிங்/கார்பனைசேஷன் (ஒருங்கிணைப்பு & குணப்படுத்துதல்)

பிசின் உருவாக்கம், குமிழி நீக்கம் மற்றும் இறுதி ஒருங்கிணைப்பை ஒரே சங்கிலியாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், தீர்வு நிலைத்தன்மை, உற்பத்தித்திறன் மற்றும் அளவிடுதல் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது.

SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு 1

உள்ளமைவு விருப்பங்கள்

A. அரை தானியங்கி வரி
SiC ஸ்ப்ரே பூச்சு இயந்திரம் → SiC பிணைப்பு இயந்திரம் → SiC சின்டரிங் உலை

B. முழு தானியங்கி வரி
தானியங்கி தெளிப்பு பூச்சு & பிணைப்பு இயந்திரம் → SiC சின்டரிங் உலை
விருப்ப ஒருங்கிணைப்புகள்: ரோபோடிக் கையாளுதல், அளவுத்திருத்தம்/சீரமைப்பு, ஐடி வாசிப்பு, குமிழி கண்டறிதல்

SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு 2

முக்கிய நன்மைகள்


• மேம்படுத்தப்பட்ட மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்தக்கூடிய தன்மைக்காக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பிசின் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் கவரேஜ்.
• சீரான தொடர்பு மற்றும் அழுத்த விநியோகத்திற்காக மைய சீரமைப்பு மற்றும் காற்றுப்பை அழுத்துதல்.
• பிசின் அடுக்கிற்குள் குமிழ்கள்/வெற்றிடங்களைக் குறைக்க வெற்றிடக் குமிழ் நீக்கம்.
• இறுதிப் பிணைப்பை நிலைப்படுத்த சரிசெய்யக்கூடிய வெப்பநிலை/அழுத்த கார்பனேற்ற ஒருங்கிணைப்பு.
• நிலையான சுழற்சி நேரம், கண்டறியக்கூடிய தன்மை மற்றும் இன்-லைன் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான ஆட்டோமேஷன் விருப்பங்கள்.

கொள்கை

பாரம்பரிய முறைகள் ஏன் போராடுகின்றன?
விதை பிணைப்பு செயல்திறன் பொதுவாக மூன்று இணைக்கப்பட்ட மாறிகளால் வரையறுக்கப்படுகிறது:

  1. ஒட்டும் அடுக்கு நிலைத்தன்மை (தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மை)

  2. குமிழி/வெற்றிடக் கட்டுப்பாடு (பிசின் அடுக்கில் காற்று சிக்கியுள்ளது)

  3. குணப்படுத்துதல்/கார்பனைசேஷன் செய்த பிறகு பிணைப்புக்குப் பிந்தைய நிலைத்தன்மை

கைமுறை பூச்சு பொதுவாக தடிமன் முரண்பாடு, கடினமான பிழைத்திருத்தம், அதிக உள் வெற்றிட ஆபத்து, கிராஃபைட் மேற்பரப்புகளில் சாத்தியமான அரிப்பு மற்றும் வெகுஜன உற்பத்திக்கான மோசமான அளவிடுதல் ஆகியவற்றிற்கு வழிவகுக்கிறது.

பிசின் ஓட்ட நடத்தை, மேற்பரப்பு பதற்றம் மற்றும் மையவிலக்கு விசை காரணமாக சுழல் பூச்சு நிலையற்ற தடிமனை உருவாக்கக்கூடும். இது கிராஃபைட் காகிதம்/தட்டுகளில் பக்க மாசுபாடு மற்றும் பொருத்துதல் கட்டுப்பாடுகளையும் எதிர்கொள்ளக்கூடும், மேலும் திடமான உள்ளடக்கம் கொண்ட பசைகள் சீராக பூசுவது கடினமாக இருக்கலாம்.

SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு 3

ஒருங்கிணைந்த அணுகுமுறை எவ்வாறு செயல்படுகிறது


பூச்சு: தெளிப்பு பூச்சு இலக்கு பரப்புகளில் (விதை/செதில், கிராஃபைட் காகிதம்/தட்டு) மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய பிசின் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் கவரேஜை உருவாக்குகிறது.


பிணைப்பு: மைய சீரமைப்பு + காற்றுப்பை அழுத்துதல் நிலையான தொடர்பை ஆதரிக்கிறது; வெற்றிட பிழைத்திருத்தம் பிசின் அடுக்கில் சிக்கிய காற்று, குமிழ்கள் மற்றும் வெற்றிடங்களைக் குறைக்கிறது.


சின்டரிங்/கார்பனைசேஷன்: சரிசெய்யக்கூடிய வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்துடன் கூடிய உயர்-வெப்பநிலை ஒருங்கிணைப்பு, குமிழி இல்லாத மற்றும் சீரான அழுத்த முடிவுகளை இலக்காகக் கொண்டு, இறுதி பிணைக்கப்பட்ட இடைமுகத்தை நிலைப்படுத்துகிறது.

குறிப்பு செயல்திறன் அறிக்கை
கார்பனைசேஷன் பிணைப்பு மகசூல் 90%+ ஐ அடையலாம் (செயல்முறை குறிப்பு). வழக்கமான பிணைப்பு மகசூல் குறிப்புகள் கிளாசிக் வழக்குகள் பிரிவில் பட்டியலிடப்பட்டுள்ளன.

செயல்முறை

A. அரை தானியங்கி பணிப்பாய்வு

படி 1 — தெளிப்பு பூச்சு (பூச்சு)
நிலையான தடிமன் மற்றும் சீரான கவரேஜை அடைய, இலக்கு மேற்பரப்புகளில் ஸ்ப்ரே பூச்சு மூலம் பிசின் தடவவும்.

படி 2 - சீரமைப்பு & பிணைப்பு (பிணைப்பு)
பிசின் அடுக்கில் சிக்கியுள்ள காற்றை அகற்ற, மைய சீரமைப்பைச் செய்யவும், காற்றுப் பையை அழுத்தவும், வெற்றிட டிபப்ளிங்கைப் பயன்படுத்தவும்.

படி 3 - கார்பனேற்றம் ஒருங்கிணைப்பு (சின்டரிங்/கார்பனேற்றம்)
பிணைக்கப்பட்ட பாகங்களை சின்டரிங் உலைக்குள் மாற்றி, இறுதிப் பிணைப்பை நிலைப்படுத்த, சரிசெய்யக்கூடிய வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்துடன் உயர் வெப்பநிலை கார்பனைசேஷன் ஒருங்கிணைப்பை இயக்கவும்.

B. முழுமையாக தானியங்கி பணிப்பாய்வு

தானியங்கி தெளிப்பு பூச்சு & பிணைப்பு இயந்திரம் பூச்சு மற்றும் பிணைப்பு செயல்களை ஒருங்கிணைக்கிறது மற்றும் ரோபோ கையாளுதல் மற்றும் அளவுத்திருத்தத்தை உள்ளடக்கியது. இன்-லைன் விருப்பங்களில் கண்டறியக்கூடிய தன்மை மற்றும் தரக் கட்டுப்பாட்டிற்காக ஐடி வாசிப்பு மற்றும் குமிழி கண்டறிதல் ஆகியவை அடங்கும். பின்னர் பாகங்கள் கார்பனைசேஷன் ஒருங்கிணைப்புக்காக சின்டரிங் உலைக்குச் செல்கின்றன.

செயல்முறை பாதை நெகிழ்வுத்தன்மை
இடைமுகப் பொருட்கள் மற்றும் விருப்பமான நடைமுறையைப் பொறுத்து, இந்த அமைப்பு வெவ்வேறு பூச்சு வரிசைகள் மற்றும் ஒற்றை-பக்க அல்லது இரட்டை-பக்க தெளிப்பு வழிகளை ஆதரிக்க முடியும், அதே நேரத்தில் நிலையான ஒட்டும் அடுக்கு → பயனுள்ள பிழைத்திருத்தம் → சீரான ஒருங்கிணைப்பு.

SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு 4

பயன்பாடுகள்

முதன்மை பயன்பாடு
SiC படிக வளர்ச்சி மேல்நோக்கிய விதை பிணைப்பு: விதை/செதில்களை கிராஃபைட் காகிதம்/கிராஃபைட் தட்டு மற்றும் தொடர்புடைய இடைமுகங்களுடன் பிணைத்தல், அதைத் தொடர்ந்து கார்பனேற்ற ஒருங்கிணைப்பு.

அளவு காட்சிகள்
உள்ளமைவு தேர்வு மற்றும் சரிபார்க்கப்பட்ட செயல்முறை ரூட்டிங் மூலம் 6/8/12-இன்ச் பிணைப்பு பயன்பாடுகளை ஆதரிக்கிறது.

வழக்கமான பொருத்தம் குறிகாட்டிகள்
• கைமுறை பூச்சு தடிமன் மாறுபாடு, குமிழ்கள்/வெற்றிடங்கள், கீறல்கள் மற்றும் சீரற்ற மகசூலை ஏற்படுத்துகிறது.
• கிராஃபைட் காகிதம்/தட்டுகளில் சுழல் பூச்சு தடிமன் நிலையற்றது அல்லது கடினமாக உள்ளது; பக்க மாசுபாடு/பொருத்துதல் வரம்புகள் உள்ளன.
• இறுக்கமான மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை மற்றும் குறைந்த ஆபரேட்டர் சார்புடன் அளவிடக்கூடிய உற்பத்தி உங்களுக்குத் தேவை.
• நீங்கள் ஆட்டோமேஷன், டிரேஸ்பிலிட்டி மற்றும் இன்-லைன் QC விருப்பங்களை (ஐடி + குமிழி கண்டறிதல்) விரும்புகிறீர்கள்.

கிளாசிக் வழக்குகள் (வழக்கமான முடிவுகள்)

குறிப்பு: பின்வருபவை வழக்கமான குறிப்பு தரவு / செயல்முறை குறிப்புகள். உண்மையான செயல்திறன் ஒட்டும் அமைப்பு, உள்வரும் பொருள் நிலைமைகள், சரிபார்க்கப்பட்ட செயல்முறை சாளரம் மற்றும் ஆய்வு தரநிலைகளைப் பொறுத்தது.

வழக்கு 1 — 6/8-அங்குல விதை பிணைப்பு (செயல்திறன் & மகசூல் குறிப்பு)
கிராஃபைட் தட்டு இல்லை: 6 பிசிக்கள்/யூனிட்/நாள்
கிராஃபைட் தட்டுடன்: 2.5 பிசிக்கள்/யூனிட்/நாள்
பிணைப்பு மகசூல்: ≥95%

வழக்கு 2 — 12-அங்குல விதை பிணைப்பு (செயல்திறன் & மகசூல் குறிப்பு)
கிராஃபைட் தட்டு இல்லை: 5 பிசிக்கள்/யூனிட்/நாள்
கிராஃபைட் தட்டுடன்: 2 பிசிக்கள்/யூனிட்/நாள்
பிணைப்பு மகசூல்: ≥95%

வழக்கு 3 — கார்பனைசேஷன் ஒருங்கிணைப்பு மகசூல் குறிப்பு
கார்பனைசேஷன் பிணைப்பு மகசூல்: 90%+ (செயல்முறை குறிப்பு)
இலக்கு விளைவு: குமிழி இல்லாத மற்றும் சீரான அழுத்த முடிவுகள் (சரிபார்ப்பு மற்றும் ஆய்வு அளவுகோல்களுக்கு உட்பட்டது)

SiC விதை பூச்சு–பிணைப்பு–சின்டரிங் ஒருங்கிணைந்த தீர்வு 5

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

கேள்வி 1: இந்த தீர்வு தீர்க்கும் முக்கிய பிரச்சனை என்ன?
A: இது பிசின் தடிமன்/கவரேஜ், பிழை நீக்க செயல்திறன் மற்றும் பிணைப்புக்குப் பிந்தைய ஒருங்கிணைப்பைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் விதை பிணைப்பை உறுதிப்படுத்துகிறது - திறன் சார்ந்த படியை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய உற்பத்தி செயல்முறையாக மாற்றுகிறது.

கேள்வி 2: கைமுறை பூச்சு ஏன் பெரும்பாலும் குமிழ்கள்/வெற்றிடங்களுக்கு வழிவகுக்கிறது?
A: கைமுறை முறைகள் சீரான தடிமனைப் பராமரிக்க போராடுகின்றன, இதனால் குமிழ் நீக்கம் கடினமாகி, சிக்கிய காற்று அபாயம் அதிகரிக்கிறது. அவை கிராஃபைட் மேற்பரப்புகளையும் கீறக்கூடும், மேலும் அளவைப் பொறுத்து தரப்படுத்துவது கடினம்.

Q3: இந்தப் பயன்பாட்டிற்கு சுழல் பூச்சு ஏன் நிலையற்றதாக இருக்க முடியும்?
A: தடிமன் ஒட்டும் ஓட்ட நடத்தை, மேற்பரப்பு பதற்றம் மற்றும் மையவிலக்கு விசைக்கு உணர்திறன் கொண்டது. கிராஃபைட் காகிதம்/தட்டு பூச்சு பொருத்துதல் மற்றும் பக்க மாசுபாட்டின் அபாயத்தால் கட்டுப்படுத்தப்படலாம், மேலும் திடமான உள்ளடக்கம் கொண்ட பசைகள் சீரான பூச்சுக்கு கடினமாக இருக்கலாம்.

எங்களை பற்றி

சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.

d281cc2b-ce7c-4877-ac57-1ed41e119918 இன் முக்கிய வார்த்தைகள்

  • முந்தையது:
  • அடுத்தது:

  • உங்கள் செய்தியை இங்கே எழுதி எங்களுக்கு அனுப்புங்கள்.